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半导体设备行业分析报告:真空泵国产化趋势如何?

发布时间:2022-09-30 08:06:02 来源:爱游戏手机版app 作者:爱游戏手机版app下载

  真空系统是用来获得真空环境的系 统,是半导体、科学仪器、化工、制药行业重要的子系统,应用广泛。真空泵是真空系统重要的组成部分,是 用来产生、改善和维持真空环境的装置。根据 ISVT,2019 年全球线 亿元,其中半导 体用线%,是最大的应用领域,此外光伏领域的真空泵需求正快速增长。

  半导体行业存量真空泵的更新占据较大比例,保证需求稳定增长。根据我们测算,2019 年全球半导体真空泵的 设备与服务需求市场规模约 130 亿元,参考 IC sights 对全球晶圆产能的预测,预计到 2025 年市场规模可达到 217 亿元,复合增占率约 9%,保持温和增长,其中存量真空泵的更新占到整个设备市场的 60~70%,庞大的存 量市场保证了半导体真空泵的稳定需求,减小了行业的波动性。根据我们测算,2019 年我国半导体真空泵的设 备与服务需求规模约 31 亿元,2025 年预计可达到 57 亿元,维持稳定增长。

  太阳能电池硅片、电池片、组件等环节大幅扩产,光伏真空泵市场规模快速扩张。太阳能发电成本不断降低, 需求进入上升期,根据硅业协会和我们的统计,预计硅片/电池片/组件等各环节 2021 年扩产规模均在 100GW 以上,拉晶、镀膜、层压等环节对真空泵均有需求,下游的大幅扩产预计将带动光伏行业真空泵市场规模的快 速增长。同时,光伏行业现在面临 PERC+/TOPCon/HJT 等技术路线的分歧,设备降本对技术路线影响较大, 设备降本的需求有利于进一步推进真空泵的国产化进程。根据我们的测算,2019 年我国光伏行业对真空泵的设 备与服务需求规模约 21.7 亿元,预计至 2022 年可增至 55.5 亿元,复合年增长率达 36%。

  行业高度集中,国内企业在光伏/半导体领域真空泵已实现国产突破。全球半导体真空泵市场主要由 Edwards、 Kashiyama、Ebara 等少数几家国际知名公司占据,2019 年 Atlas 线 亿美元,当年在线%,处于绝对领先地位。国内以汉钟精机、中科仪为代表的国内半导体真空泵优秀企业已逐 步实现国产替代。汉钟精机 2019 年公司总收入 18.07 亿元,其中线%, 根据公司的业绩快报,2020 年营收总收入 22.73 亿元,同比增加 25.78%,维持高增速,目前公司的真空产品 主要应用在光伏领域,根据公司 2019 年年报,公司干式真空泵在国内半导体及一线大厂及设备厂都已导入。 根据中科仪的招股说明书,公司真空泵已进入隆基、晶盛、长江存储等光伏和半导体头部客户,产品力获认可, 2019 年公司销售线%。

  真空泵:真空系统的心脏,应用领域广泛。真空泵是根据一定的工作原理,用来产 生、改善和维持真空环境的装置,是直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少 的产品。真空泵广泛应用于制药、化工、食品、电子等下业,需求量大面广。

  通常真空范围可划分三个等级:(1)粗低真空(Low or Rough Vacuum,LV),气 压在760至10-3Torr,主要适用于食品、化工、轻工、制药行业等;(2)高真空(High Vacuum,HV),气压在10-3至10-8Torr,主要适用于集成电路、半导体制造以及各 种镀膜工艺、各种表面加工工艺、离子注入等等;(3)超高真空(Ultra-High Vacuum, UHV),气压在10-8至10-12Torr,主要适用于材料科学分析、物理现象研究、表面分 析高纯材料制备等等。

  真空泵从高/超真空到粗/低线)高/超真空----低温泵、 分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。(2)中真空----干泵、双级旋片泵、罗茨 泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。(3)粗/低真空----单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、 往复式真空泵。 也可根据气体传输的原理、工组原理、结构特点等进行分类,从原理上来说,主要分 为变容式与动量式两种,根据结构特点可分为往复式、旋转式、牵引式等,不同的密 封方式、结构特点决定了不同的真空应用范围。

  真空泵从高/超真空到粗/低线)高/超真空----低温泵、 分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。(2)中真空----干泵、双级旋片泵、罗茨 泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。(3)粗/低真空----单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、 往复式真空泵。 也可根据气体传输的原理、工组原理、结构特点等进行分类,从原理上来说,主要分 为变容式与动量式两种,根据结构特点可分为往复式、旋转式、牵引式等,不同的密 封方式、结构特点决定了不同的真空应用范围。

  真空泵应用于单晶硅制造、晶圆加工等多个环节。在半导体产业刚起步的时候,仅 有两种处理工艺需要用到真空腔。一种是只有一层金属的蒸铝工艺,另一种是在硅 片背面蒸金以便将电路芯片固定在它的管壳上,那时的真空工艺是在类似钟罩的腔 内进行的。当前,半导体制造过程中的许多化学反应都是在真空条件下进行的,使 用工艺腔来实现受控的线年代后期,工艺腔被构造为多腔集成设备。硅片在真空环境下从一个工艺腔传送至另一个工艺腔,避免了硅片的原始氧 化并减少了污染。

  半导体工业是真空泵非常重要的应用领域,是当前主要的增长动力。目前真空泵已 经广泛应用在半导体制造的多个工艺环节中,包括刻蚀、镀膜、扩散等等。为了将制 造过程控制在更小的尺寸上,越来越需要以更高的精度和均匀性执行更多的半导体 制造过程步骤。为了实现这一点,半导体工艺必须在极度受控的真空环境中运行。 随着功能和电路尺寸的减小,半导体制造中的工艺步骤数量将继续增加,从而导致 真空设备需求的增加。此外,小型化还需要新的制造技术,如多模和EUV光刻技术, 这将进一步推动半导体制造商采用真空系统。

  半导体制造中主要应用的真空泵类型包括干式真空泵以及涡轮分子泵。较早时,油 式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,目前干泵成为了半导体行业最主要的 真空泵类型。与基于液体的水环泵、油封泵和蒸汽喷射系统相比,干泵设备除了能 提高速度、工艺可重复性、灵活性和生产率之外,还能够显著节省运营成本、维护成 本和安装空间。干泵设备的关键优势,不使用水或油来进行真空阶段的密封或者润 滑,因为设备的运行成本非常经济,可让用户优化真空工艺。另外,干泵消除了工艺 过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险,他们不会产生废物、或者污染宝贵 的溶剂、产品或环境。

  干式泵是一种无油的泵送机构,用于创造真空环境。它们在真空抽气机构内不使用 润滑剂,并有一系列的监测和控制选项。干泵广泛应用于半导体领域,也应用于冶 金、涂料、干燥、太阳能等工业过程。它们也用于科学仪器,如扫描电子显微镜。

  在涡轮分子泵或涡轮泵中,涡轮转子快速旋转产生真空。涡轮泵的主要特点是转速 高。涡轮泵通常与主湿泵或干泵一起使用。它们通常用于半导体应用和研发、工业 应用和高能物理。

  在刻蚀和薄膜沉积设备中通常使用干泵+涡轮分子泵,将大气抽至一定真空使得符合 工艺的需求。由于干泵抽真空的能力有限,需要配上涡轮分子泵将环境抽至高真空。 根据Edwards官网,一个月产4万片的晶圆厂,需要1000个减排系统,2000个干泵, 以及至少500个涡轮分子泵。其中干泵和减排系统直接出售给铸造厂和集成设备制造 商,供其在制造过程中使用,涡轮分子泵直接出售给设备制造商,以便集成到其工 艺工具中。

  半导体真空市场规模占同期半导体设备销售额的3%~4%。根据SEMI(国际半导体 设备与材料协会),2017-2020年全球半导体设备市场销售额566/645/598/689亿美 元,结合前文提到的半导体线亿美元),真空 泵占同期半导体设备销售额的3%~4%。真空泵还需要定期维护,服务市场也是重要 的一部分,例如Altas真空部门每年服务收入占到该部门收入的25%。根据Edwards, 公司的大多数线年之间,并在这段时间内经历4到10次 预定的再制造过程。对于某些客户,线天运行, 因此除了再制造外,还需要定期维护。我们估计,用于超清洁环境的干泵通常需要 每4至5年维修一次,但建议在更严格的工艺下运行的泵每三个月进行一次维修。

  进一步地,我们按照每年新增晶圆产能和目前装机产能测算了全球半导体真空泵每 年增量需求与更新需求。

  (1)假设每月4万片产能的12寸晶圆产线年(每年更换存量线)半导体 用干式线)服务市场为总需求 规模的25%,即为设备需求1/3。(2019年Altas真空部门服务收入占总收入的25%)。 (5)2025年的装机预测取IC Insights的估计值,2021-2025年我们根据2025年的装 机预测做了平滑处理。

  (1)存量需求占据主导,支撑需求稳中向上。根据测算,存量真空泵的更新与服务 市场占整个设备市场的60%~70%左右,庞大的存量市场保证了半导体真空泵的稳定 需求。

  (2)预计2025年全球半导体领域线亿。根据IC Insights,2020 年全球装机产能合计923.11万片/月(折算成12寸晶圆,下同),预计到2025年全球 装机产能1252万片。据此测算,2019年半导体真空泵的设备与服务需求约130亿元, 与ISVT的估计相近。预计到2025年全球半导体真空泵的设备与服务需求达到217亿 元,其中设备需求约162亿元,服务需求约54亿元。

  遵循同样的思路,并对国内装机的全球占比作出假设,我们可以对国内的半导体真 空泵市场规模进行测算,并假设国内装机占全球装机的比例逐渐上升。

  根据测算,2021-2025年国内半导体真空泵设备的市场空间分别为33/32/35/39/43亿 元;加上服务的需求,则同时期设备及服务的总需求为44/43/47/52/57亿元,未来5 年复合增长率为7.5%,保持稳定增长。

  太阳能组件价格大幅下降,带动光伏电站投资成本下降,经济性显现。根据CPIA的 数据,太阳能电池组件的价格从2007年的约36元/W降低到2020年的1.57元/W,下 降幅度达95.6%,带动光伏电站投资的系统成本从60元/W左右下降到3.99元/W。由 于各国的电价不同,随着光伏发电成本的不断下降,在不同地区陆续实现平价上网, 2020年中青海海南州的竞价项目中标电价为0.2427元/W已经低于当地的煤电上网 电价,光伏发电的经济性逐渐显现。

  碳中和目标下,光伏装机需求确定性强。2020年9月,我国在联合国大会一般性辩论 中宣布二氧化碳排放力争在2030年前达峰,努力在2060年实现碳中和,欧洲美国等 均提出了各自的减能减排政策。在经济性与政策的双重驱动下,光伏发电新增装机 预计将迎来较快增长,根据CPIA的预测,2021年国内新增装机在55-65GW,全球装 机规模在150-170GW,十四五期间,国内年均新增装机70-90GW,全球年均新增装 机210-260GW。

  太阳能电池的若干生产过程与半导体类似,包括拉晶、镀膜等,也会用到干式真空 泵。干式真空泵可用于光伏产业链中硅片的拉晶环节、电池片的钝化镀膜环节 (PECVD/ALD设备)、组件的层压环节等。根据捷佳伟创的招股说明书,以其PECVD 设备为例,干式真空泵为PECVD设备中成本占比最大的零部件, 2015-2017年,干 式真空泵在PECVD设备中的价值量占比为11.4%/12.2%/12.7%。

  根据中科仪的招股说明书,晶体生长和硅片生产每GW需要约200台干式线万元,同时假设线年,每台真空泵每年需要的维保费用为 3万元。由此我们可以估计硅片环节对真空泵设备的需求规模。

  2020-2022年硅片环节对真空泵的设备与维保需求规模约22.6/28.6/35.6亿元。继续 沿用上文的硅片扩产数据,我们可以得到2020-2022年拉晶环节对真空泵的新增设 备需求规模约12.7/13.3/14.5亿元,与上文通过价值量计算的市场规模相似,考虑存 量真空泵的更新与真空泵的维保费用之后,同时期设备与维保的市场规模约 22.6/28.6/35.6亿元,复合增长率约25.5%,维持高速增长状态。

  通过假设国内与全球的新增装机规模、PERC+/HJT等不同技术路线的产能占比以及 镀膜设备在不同技术路线中的价值量占比等(由于技术路线迭代变化,近年电池片 环节设备更新较快,故未考虑真空泵的存量更新),我们可以测算电池片环节的线年电池片环节(PECVD、ALD等镀膜设备)对真空泵的设备需求规模约 6.5/9.8/11.7亿元,同期组件环节(层压设备)对线亿 元,加上硅片环节的设备需求,整个光伏行业对线 亿元,再加上服务维保市场,光伏行业对真空泵的设备与服务需求规模约 33.5/45.0/55.5亿元,复合增长率28.7%,保持高速增长。

  降本贯穿于太阳能电池的整个发展过程,设备降本是其中的重要一环。前文已经提 到组件价格的大幅下降,与之同时发生的则是随着设备的国产化与产能的逐步上升, 设备投资额的大幅度下降,根据CPIA的数据,PERC产线.5%,2020年TOPCon的产线亿 元/GW,HJT的产线亿/GW,在PERC+/TOPCon/HJT等多种技术路 线并行、竞争焦灼的现阶段,设备投资额将是决定技术路线走向的重要一环,而将 若干零部件国产化将会是设备降本的一个有效驱动因素。

  以电池片设备龙头厂商捷佳伟创为例, 出于配合电池片厂商降本以及保持市场份额的需要,近年捷佳的PECVD设备均价与 毛利率一直在下降。出于降本与提高利润率的需要,以捷佳为代表的电池片设备厂 商完全有动力切入到国产真空泵。而根据据捷佳的招股说明书,捷佳的干式真空泵 主要来自于Pfeiffer Vacuum SAS(德国普发),根据汉钟2021年1月在投资者问答 平台上对投资者的答复,汉钟的真空产品已经供货捷佳伟创。

  全球真空领域的主要公司有Edwards(英国,被Atlas收购)、Pfeiffer Vacuum(普 发,德国)、Ebara(荏原,日本)、Kashiyama(坚山工业,日本)等,其中Atlas、 Pfeiffer、Ebara均为上市公司,2020年Atlas营收约109亿美元,Eraba约49亿美元, Pfeiffer还未披露2020年财务数据,2019年营收约7.9亿美元,这几家龙头公司均为 成立多年的百年企业,在激烈的行业竞争中脱颖而出,技术实力雄厚。

  以2019年为例,以Atlas线亿美元、Pfeiffer Vacuum公司收入约 7.1亿美元作为两大公司真空收入的近似,同年全球线 亿美元),我们可以得到Atlas的市占率约53%,处于绝对龙头,Pfeiffer市占率约13.9% (因为包含其他业务,略有高估),全球真空市场集中度较高,龙头市占率领先。

  Atlas(阿特拉斯·科普柯,瑞典)成立于1873年,以铁路设备起家,后陆续切入气 动工具、压缩机、船用发动机、柴油机等,经过不断的兼并与剥离,目前集团有4块 业务,分别是真空业务、压缩技术、工业技术、动力技术。

  真空业务(Vacuum Technique)提供真空产品、排气管理系统、阀门以及其他相关 产品,具体产品包括:(1)油封旋片线)干式线)液环线)低温泵等;可用于半导体、平板显 示、LED、太阳能、光学涂层、科学研究等行业,与ISTV的定义基本相同;除去设 备之外,这部分还包括减排系统、设备监控、现场服务、备件、润滑油等。

  2020年Atlas收入约108.8亿美元,其中线%,真空 部门近三年的复合增长率约5.6%,营业利润率介于22%~25%之间。

  以2019年为例,Atlas的线个维度可进行拆分,从区域来看,以 来自亚洲和大洋洲的收入为主,占比达到58%,其次为北美(25%),欧洲(15%), 非洲/中东地区(2%)。分应用领域来看,电子行业收入占比达到65%,通用制造业 和加工工业分别占比18%、13%。

  以2019年为例,从服务占比来看,线%, 工业技术部门服务占比28%,动力技术占比42%,可以看出在这个行业服务占比非 常重要,而真空部门的服务收入占比最低,估计为真空部门的设备价值量较高所致。

  Atlas在真空领域进行布局,持续收购公司。继2014年收购Edwards,Atlas于2016 年收购了另一家真空技术领域的领导者德国leybold(莱宝),并于2017年单独设立 线月Atlas收购了Brooks(布鲁克斯)的低温业务,此次收购 包括低温泵运营公司、以及Brooks在爱发科低温真空(Ulvac Cryogenics)有限公司 50%的股份,进一步增强了其真空业务的全球竞争力。

  Edwards是真空领域和减排系统的全球领导者,拥有100多年的悠久历史,1919年成 立,以线个国家,公司发展比较关键的节点 是1984年推出了无油干泵,2014年被Atlas收购。产品的应用领域主要有分析仪器(电 子显微镜、质谱仪、实验室等)、化工、食品加工、研究机构、发电解决方案、工业 解决方案、半导体、平板显示、可再生能源(太阳能、LED照明、储能等)。

  从公司的产品发展历程来看,随着半导体技术的不断发展,公司的真空泵随之不断 进步,一个是技术上,不断的进行技术开发以符合下游客户的需求,产品呈系列化, 另一个是能耗上的不断降低(半导体行业为用电大户),为客户创造收益。

  2014年Edwards营业收入约7亿英镑。分部门收入结构,以2012年为例,半导体线%、通用线%、新兴技术领域线%,另外服务收 入占比达到27.3%。公司在半导体领域的客户包括晶圆厂以及半导体设备商。2010- 2012年公司最大客户是三星,收入占比分别达到15.1%、13.6%、13.4%。

  从收入规模看(由于14年被收购,仅能获得截止2014年数据),Edwards收入增长 与半导体设备市场规模的增长非常一致,收入增长的最大动力来自于半导体领域。 在上一轮半导体设备行业的顶点2011年,Edwards的收入最高达到7.0亿英镑,当年 毛利率36.8%,净利润0.52亿英镑。而受益此轮半导体行业景气周期,2020年Atlas 的线亿英镑,其中主要的收购仅在2016年。

  (三)Pfeiffer Vacuum:涡轮分子泵开创者,致力于线年成立,以电灯泡的线年开发了用于核工业的真空泵, 从此公司真空泵业务开始向多领域扩张,1958年公司发明并推出分子泵,1985年发 明分流涡轮分子泵, 2010年兼并了阿尔卡特朗讯的真空技术部门“adixen”,2019 年10月公司在我国江苏无锡建厂,为真空领域的领先企业。

  公司的产品组合包括真空产生、测量与分析、安装工具、真空系统、真空单元、捡漏 设备等,可以提供各种复杂的真空系统解决方案。

  2015-2019年,普发的收入从5.01亿美元增长到2019年的7.1亿美元,复合增长率 9.0%,2018年曾经达到7.8亿美元,2019年受半导体行业投资不景气收入有所下滑, 同期营业利润从6501万美元增长到7274万美元,营业利润率在13%左右,2018年最 高达到14.6%。

  (1)按产品拉看,绝大部分为真空产品,公司产品分为Turbopumps(涡轮泵,针 对高真空和超高真空)、Instruments and components(仪器部件)、Backing pumps (支撑泵,针对低真空和中真空)、Service(服务,培训、备品备件等)、Systems (系统,针对多级线年,各产品的占比均有所变化,涡轮泵从32.1%下降到29.2%,支撑泵从22.7%下降到19.6%,仪器部件从21.9%上升到30.3%,线%,除去仪器部件占比大幅上升外,其余部分均保持相对稳 定状态。

  (2)按下游应用领域,与ISTV的分类类似,公司将客户分为半导体(主要使用中大 型支撑泵、涡轮分子泵、测量仪器)、工业(用于电动车、太阳能热发电、冶金、空 调制冷等)、分析测试(扫描电子显微镜等)、科研(泵、质谱仪、检漏仪等,用于 研究所等)、涂层(平面显示、纺织、OLED、LED、太阳能电池等)。半导体为其 中最大的部分,2015年到2019年,半导体行业的收入占比从31.0%上升到35.2%, 最高达38.4%,工业应用从25.5%下降到23.6%,分析测试从20.3%下降到18.7%, 科研行业从10.9%上升到11.9%,期间最高达到过15.1%(2018年),涂层部分从12.3% 下降到10.5%。

  Ebara成立于1912年,目前旗下有3块业务,分别是:(1)流体机械及系统,主要包 括泵、压缩机、涡轮机、鼓风机等,主要用于石油、天然气、液化天然气等;(2) 环境工程,包括市政垃圾焚烧厂、工业垃圾焚烧厂、水处理厂等;(3)精密器械, 包括干式真空泵、CMP(化学机械抛光)设备、电镀设备及排气处理设备,主要用 于半导体、平板显示、LED和太阳能电池等领域。根据公司的介绍文件,公司在液化 天然气泵领域全球市占率第一,在CMP系统和干泵领域全球市占率第二。公司2020 年营业收入约49.1亿美元,流体机械及系统部门占约60%,精密器械部门占约27%, 环境工程部门占约13%。

  从公司的发展历程来看,可分为以下几个阶段:(1)1912~1944年,主要致力于水 利基础设施;(2)1945~1980年,趁着战后日本重建,公司介入风力&水力发电、 垃圾焚烧业务;(3)1980~2000年,介入半导体设备,1986年推出干式线年之后,可持续增长阶段, 致力于能源节约产品与循环利用技术。

  (1)企业发展历史长,长期致力于真空领域,产品系列齐全,技术壁垒较高,除去 真空泵之外,还可以提供包括捡漏、真空计在内的真空综合解决方案。

  (2)布局广泛,除去真空领域之外,利用泵领域的通用知识,从事压缩机、涡轮机 等通用制造业,极大的发挥了技术的共享作用。

  (3)不断兼并,在相似领域进行相关的收购兼并,获得相关技术并发挥协作作用。

  。根据汉钟精机的年报, 公司的真空产品在光伏产业深耕多年,已经实现大批量供货以及长时间可靠运行, 以优异的性价比赢得了较大的市场份额。根据中科仪的招股说明书,中科仪的真空 产品已经被隆基、晶盛机电、平煤隆基等光伏客户大批量采用,并且进入了长江存 储、上海积塔等半导体客户。以汉钟精机和中科仪为代表的国产真空泵企业,已在 光伏行业取得不错成绩,并且随着产品性能的不断进步以及光伏行业对降本的不断 追求,预计在光伏行业的突破将继续进行。半导体行业对真空泵的要求更高,国产 真空泵需要较长的时间进行技术探索和验证,但是国产化的进程已经开始,预计将 逐步提高市场份额。

  各家由于各自发展的历程不同,干式泵的布局亦有所不同。根据各家官网的产品介 绍来看,Edwards作为真空领域绝对的领先者,产品系列最全,各种结构的真空泵均 有布局;Ebara以罗茨泵为主;Kashiyama以罗茨泵和螺杆泵为主。反观国内,汉钟 精机作为螺杆泵的龙头,真空泵以螺杆式为主,旋片泵也有所布局;中科仪以涡旋 泵和罗茨泵为主;中科科仪以分子泵、旋片泵为主。

  螺杆干泵是利用一对螺杆,在泵壳内做同步高速反向旋转而产生的吸气和排气 达到压缩气体的效果,主要的线Pa。

  与干式泵大多为变容真空泵不同,分子泵的是一种动量真空泵,是利用高速旋转的 转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为 前级抽走的一种真空泵,主要用于实现高真空,应用领域与干式真空泵有所差异。

  公司主要产品有螺杆式制冷压缩机和螺杆式空气压缩机,经过多年的发展,已成为 中国大陆颇有实力的压缩机生产厂家。按照产品分类,公司的主要产品包括制冷产 品、空压产品、真空产品、铸件产品、零件及维修。2019年总收入18.07亿元,其中 线%,根据公司的业绩快报,2020年营业收 入22.73亿元,同比增加25.78%。

  在半导体线 年公司干式真空泵在国内半导体一 线大厂及设备厂都已导入,产品符合业界需求,并可与欧、日国际真空泵大厂在产 品性能规格等方面竞争。在半导体行业的拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封装、 测试等清洁或严苛制程公司真空泵都能使用。目前在台湾已有半导体产业公司在使 用公司真空泵,大陆市场已在积极开拓中,且已有厂商开始陆续下单。

  (1)PMF:体积超小,超高效节能机型,适用于Load Lock、TR、Metrology等干净 制程;(2)iPM:体积小、节能,适用于一般严苛工艺腔,诸如PVD、Ashing、ETCH、 IPM 等工艺;(3)iPH:抗沾黏、腐蚀、热氮气系统、壳体温度控制,适用于严苛 工艺腔,诸如CVD、ALD 等工艺。

  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(后简称中科仪)是真空仪器设备制造企业, 主要业务包括真空科研设备、LED高端装备设备(包括PECVD、晶体生长炉等)、 真空干泵及技术服务。根据公司招股说明书,公司在干式线年的 产品研发和生产经验,承担了“国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)”、 “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(“02专项”)、“高档数控机床与基础制造装 备”(“04专项”)等国家科技重大专项,公司的干式真空泵产品已在中芯国际、长江 存储、上海华力、北方华创等集成电路制造企业及集成电路装备制造企业通过工艺 验证并批量应用,在光伏领域,公司干式真空泵产品已被隆基股份、晶盛机电等龙 头企业大批量采购使用。

  罗茨干泵分为三大系列:L系列产品 主要应用于集成电路清洁工艺制程,如装载、传输;M系列产品主要应用于集成电路中等工艺制程,如刻蚀;H系列产品主要应用于集成电路苛刻工艺制程,如CVD;涡 旋干泵分为双侧无油式和单侧屏蔽式两大系列。

  根据公司招股 说明书,中科仪的主要客户包括隆基、晶盛机电等光伏行业制造/设备头部客户,以 及长江存储、上海积塔、北方华创等半导体行业制造/设备头部客户,来自半导体行 业的收入估计在20%以上,产品力获得认可。

  北京中科科仪股份有限公司(后简称中科科仪),前身为中国科学院北京科学仪器 研制中心(原中国科学院科学仪器厂),是中国科学院首家事业单位整体转改制企 业。中科科仪曾经承担了多个国家重要科研攻关项目,成功研制出我国第一台扫描 电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪、第一台磁悬浮分子泵 等,技术创新实力雄厚,被评为国家级企业技术中心,是国家首批通过的国家级高 新技术企业。

  公司主营业务是科学仪器设备及半导体等产业设备核心零部件产品的研发、生产和 销售,主要真空泵产品是分子泵及旋片泵,真空仪器主要包括检漏仪、充气回收检 漏系统、空间环境模拟系统、大科学真空配套及真空镀膜设备等产品。

  与一般的干式泵不同,分子泵主要应用于高真空和超高线Pa),干式泵主要应用于低线Pa)。干式真空泵在大气压 强下独立使用实现低真空,而分子泵的正常工作需要一定的启动压强,其无法在大 气压强下直接工作,分子泵的正常工作要求连接干式真空泵等低真空泵种作为前级 预抽真空泵使用,分子泵作为二级泵使用。



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